字体
关灯
返回目录 阅读足迹 更多章节
第(3/4)页
面上只剩下一排排裸露的螺栓孔。

干法刻蚀车间。日立M206A微波等离子单片式RIE干法刻蚀机,全球首发的设备,是实现芯片精密刻蚀的核心。旁边还有东京电子批量式反应离子腐蚀刻蚀集群,数十台高端刻蚀设备排列整齐,像等待检阅的士兵。王建新一台不落地全部收走,连同配套的真空系统、气体供给系统也一并收入空间。车间里一下子空了,只剩下墙上的操作面板和地上的电缆槽。

热工艺与掺杂区域。东京电子立式全自动高温扩散炉,炉管还散发着余温。日新电子中速大束流离子注入机,体积庞大,管线复杂。高压超纯氧化生长炉,炉门紧闭,透过观察窗能看见里面的红光。这些垄断全球的掺杂与热处理设备,一台台有序地被收入空间,全程保持着设备原本的精密状态,没有一丝磕碰。

薄膜沉积车间。多腔体等离子PECVD化学气相沉积机,磁控溅射金属镀膜机,超高洁净气相外延炉。整套完整的薄膜生长与沉积设备,支撑着芯片内部电路与薄膜结构的制造。王建新神识一扫,全部收走。

再往厂区深处走,是高端检测与封测区域。日立、岛津的超高分辨率SEM扫描电镜,晶圆全自动AOI缺陷检测仪,高精度探针台,全自动金丝球焊封装生产线,切筋成型智能设备。从芯片检测到封装测试的全套高端设备,没有一台被落下。王建新一路走一路收,脚步不快不慢,像是在逛商场。

出了生产区,他转向厂区北侧。

那里是顶级半导体科研实验室,汇聚了全日本最前沿的科研设备。电子束直写曝光机,X射线光刻研发样机,超高精度晶圆参数分析仪,单晶材料研发设备,芯片工艺研发试验台。仪器一台接一台,桌面上摊着各种图纸和记录本。

靠墙是一排排铁皮柜,里面塞满了核心技术图纸、研发数据硬盘、工艺参数手册。王建新打开一个柜子,随手翻了翻,厚厚的图纸,密密麻麻的数字,他看不懂,但知道这些东西比生产设备更珍贵。

他把整个实验室打包了。设备、仪器、图纸、硬盘、手册,连同实验室里的超算中心、科研仪器,全部被席卷一空。连实验台上的笔记本都没留下,笔还插在笔记本里,一起收走了。

出了实验室,王建新又转了几个地方。超纯水中央供给系统,管道纵横交错,储水罐有几层楼高。特种超高纯电子气体存储输送系统,一排排钢瓶
第(3/4)页
本章还未完,请点击下一页继续阅读
上一页 目录 下一页
都在看:千亿前妻带崽归来,把沈总踢出户口本灵域战仙关山风雷半岛白金时代非正常武侠:别人练武我修仙穿越七零做外贸财阀小娇妻:闪婚后大叔失控了文豪1879:独行法兰西最狂皇太子权势滔天,从救下美女老板开始